冷鏡式精密露點儀是以液態氣體為冷源的冷鏡式露點儀。冷鏡式精密露點儀建立在可靠的理論基礎上，具有準確度高、測量速度快、測量范圍寬及讀數直觀、操作方便等特點，其準確度僅次于重量法濕度計。因此，它不僅是一種工作儀器，而且也是長期以來普遍采用的標準儀器。
冷鏡式精密露點儀廣泛用于工業過程和實驗室的露點測量與控制，以及氣體行業中水分指標測量等。在現代露點測量技術中占有相當重要的位置。
如何正確使用冷鏡式精密露點儀以及在實際測量中應注意的問題：
1. 鏡面的污染對露點測量的影響
在露點測量中，鏡面污染是一個突出的問題，特別是工業流程氣體分析污染的影響是比較嚴重的，但即使是在純氣體的測量中鏡面的污染亦會隨時間的增加而積累。為了消除污染的影響，直觀的方法是對被測氣體進行過濾。同時根據具體情況定期或隨時清洗鏡面。
此外，通過對鏡面的加熱，并通氣吹除污染雜物，在污染比較明顯的情況下也可以多次重復進行節露和消露過程來實現。
2. 低霜點測量中的問題
冷鏡式精密露點儀是微量水測量中為數不多的有效的手段之一。但是在測量中有些問題必須給予充分的注意。首先是影響檢測的霜層厚度問題。在低含水量的情況下，霜層很薄，變化也慢，增加了檢霜的困難，如露點低于-65℃，鏡面上水分子移動性很小，結晶速度相應下降，從霜層的出現到相對穩定需要一定時間。霜點溫度越低，困難越大，測量誤差也迅速增加。
